LMGP SEM

Le potentiel en moyen technique et humain s'est significativement renforcé au cours des dernières années.
Les appareillages disponibles au LMGP sont pour la plupart gérés par le CMTC.

Il faut distinguer la microscopie à balayage (MEB) et la microscopie à transmission.

Les microscopes électroniques à balayage (MEB) sont de puissants outils de caractérisation des matériaux qui permettent d'obtenir des images à informations topographiques, de compositions chimiques, d'orientations cristallines, de potentiels électriques, etc... Equipés de systèmes d'analyse en énergie, (EDS) ils permettent de réaliser des analyses de composition élémentaire. Les grandissements obtenus peuvent aller jusqu'à x 100 000.

Equipement du laboratoire :

• MEB conventionnel Philips XL 30
• MEB-FEG à cathode froide Hitachi 4500 (acquisition LMGP nov. 2004).
• MEB FEG environnemental QUANTA 250 ESEM FEG de FEI ( mai 2010)
  

Les nouvelles capacités de grandissement de ce microscope électronique à balayage équipé d'un canon à émission de champ, permettront de visualiser des détails de 30nm. Ces pouvoirs de grandissement seront en particulier très utiles pour la caractérisation de lignes de gravures des futurs nanosystèmes électroniques intégrés (65 nm, puis 45 nm à l'horizon de 5 ans).
En outre, la cathode froide permet de travailler à haute résolution à faible tension d'accélération. Cette configuration est particulièrement favorable pour étudier les matériaux pour les biotechnologies.



Personnel technique    P. Chaudouët
Chercheurs     J. L. Deschanvres