LMGP - rubrique Equipements 2022

MEB-EBSD

La technique EBSD (Electron Back Scattered Diffraction / Diffraction d'électrons rétrodiffusés) permet de déterminer les orientations cristallographiques locales au sein de matériaux mono- ou polycristallins. Elle permet de sonder des profondeurs sous la surface libre de l'échantillon de l'ordre de quelques dizaines de nm.

Elle est mise en œuvre avec un microscope électronique à balayage équipé d'une caméra EBSD spécifique.
 

Mesures typiques

  • taille et orientation de grains
  • morphologie
  • texture locale
  • caractérisation des joints de grain
  • déformation...

Résolution

  • spatiale : entre 15 et 20 nm
  • angulaire relative : < 1°
  • angulaire absolue : ~2°

Equipements

2 systèmes EBSD Edax :
  • Camera CCD Hikari Pro (jusqu'à 600 clichés indexés par seconde) + logiciel OIM installés sur MEB FEG Zeiss Ultra55
  • Camera CCD Hikari Super (jusqu'à 1400 clichés indexés par seconde) + logiciels OIM et TEAM installés sur MEB FEG Zeiss GeminiSEM 500

Accès à l'équipement

Le matériel de microscopie du laboratoire fait partie du CMTC, plateforme de caractérisation de matériaux de Grenoble INP. Il est à la disposition du secteur Public et Privé sous forme de prestations de service.